Fabrication of Magnetic Metal-Insulator Composite Film Using the LbL-assisted Composite Plating Method
掲載日 2024年1月26日
発表者 Naoyuki Fujita, Makoto Takeuchi, Yoshitaka Watanabe, Atsushi Yokoi, Wai Kian Tan, Masayuki Naoe, and Hiroyuki Muto
雑誌名等 IEEE Transactions on Magnetics
https://doi.org/10.1109/TMAG.2024.3352000
概要

GHzの電磁波を用いる最新の各種電子デバイスにおいて、電磁ノイズ抑制のために適度な比抵抗を有する磁性膜は有用である。よって、磁性微粒子が絶縁体に分散した強磁性膜に関する研究が盛んであるが、電気泳動と電気メッキを複合させたプロセスによるナノグラニュラー膜の創生について報告する。具体的には、60nmサイズのFeNi合金微粒子を電気泳動させ、メッキプロセスによりエポキシ樹脂をマトリックスにした複相膜を創生する。本膜の静的透磁率は、低FeNi含有量のため1.5と低いが、強磁性共鳴周波数は10GHzを超えているため、優れたノイズ抑制材料になる可能性を有する。