所有実験装置

試料作製関係装置

主要装置一覧

クリーンルーム(2室) 真空アーク溶解炉 熱処理炉(回転磁場中熱処理炉、高真空熱処理炉、ガス雰囲気熱処理炉)
スパッタ成膜装置(マグネトロン・対向ターゲットなど10数台) イオンミリング装置 超音波洗浄器
真空蒸着装置 マスクアライナー エアロゾル・デポジション(AD)成膜装置
電子線描画装置 ホットウォール成膜(HWD)装置 ダイシングソー

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分析関係装置

主要装置一覧

FE走査型電子顕微鏡(EDX、WDX付き) 蛍光X線分析装置 紫外可視近赤外分光光度計
表面形状測定装置 分光感度測定装置 高感度示差走査熱量装置
多機能材料評価X線回折装置 フーリエ変換赤外分光光度計 プローブステーション

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物性測定関係装置

主要装置一覧

誘電率測定装置 ネットワークアナライザー 万能機械試験装置
試料振動型磁力計 スペクトラムアナライザー ビッカース硬度計
交番力磁力計 多用途偏光解析装置 ロックウェル硬度計
薄膜磁歪測定装置 光電気伝導測定装置 ヤング率測定装置(共振法)
マイクロカー効果測定装置 電気抵抗・歪測定装置 熱膨張測定装置
直流磁気磁束計 表面形状測定装置 ファラデー効果測定装置
高周波透磁率測定装置 膜厚計
インピーダンスアナライザー 磁気抵抗効果測定装置

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お問い合わせ

ご不明な点やご要望は、FAQ(~について)またはお問い合わせのページをご覧ください。