所有実験装置
試料作製関係装置
主要装置一覧
クリーンルーム(2室) | 真空アーク溶解炉 | 熱処理炉(回転磁場中熱処理炉、高真空熱処理炉、ガス雰囲気熱処理炉) |
スパッタ成膜装置(マグネトロン・対向ターゲットなど10数台) | イオンミリング装置 | 超音波洗浄器 |
真空蒸着装置 | マスクアライナー | エアロゾル・デポジション(AD)成膜装置 |
電子線描画装置 | ホットウォール成膜(HWD)装置 | ダイシングソー |
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分析関係装置
主要装置一覧
FE走査型電子顕微鏡(EDX、WDX付き) | 蛍光X線分析装置 | 紫外可視近赤外分光光度計 |
表面形状測定装置 | 分光感度測定装置 | 高感度示差走査熱量装置 |
多機能材料評価X線回折装置 | フーリエ変換赤外分光光度計 | プローブステーション |
粉末粒度分布測定装置 |
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物性測定関係装置
主要装置一覧
誘電率測定装置 | ネットワークアナライザー | 万能機械試験装置 |
試料振動型磁力計 | スペクトラムアナライザー | ビッカース硬度計 |
交番力磁力計 | 多用途偏光解析装置 | ロックウェル硬度計 |
薄膜磁歪測定装置 | 光電気伝導測定装置 | ヤング率測定装置(共振法) |
マイクロカー効果測定装置 | 電気抵抗・歪測定装置 | 熱膨張測定装置 |
直流磁気磁束計 | 表面形状測定装置 | ファラデー効果測定装置 |
高周波透磁率測定装置 | 膜厚計 | |
インピーダンスアナライザー | 磁気抵抗効果測定装置 |