鉛フリー圧電材料であるBaTiO₃厚膜による振動発電エネルギー向上を目的として圧電厚膜の面積増加の検討を行った。圧電厚膜の面積増加にともない発電エネルギーは増加する傾向を示し、発電エネルギーは圧電厚膜の体積に比例することが確認された。また、面積が30×40mm、厚さ17μmのサンプルを用いて、先端に9gの錘をつけ片持ち梁の状態で先端を撓ませて1回はじくことにより得られた振動発電エネルギーは最大で39μJになることが確認された。