研究論文リスト英文｜研究開発事業部｜公益財団法人電磁材料研究所

研究論文リスト英文

Closed-Loop Control of an XYZ Micro-Stage and Designing of Mechanical Structure for Reduction in Motion Errors

Hiraku Matsukuma, Keisuke Adachi, Takuma Sugawara, Yuki Shimizu, Wei Gao（東北大学）, Eiji Niwa, Yoshihiro Sasaki
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掲載日	2021年3月24日
雑誌名等	Namomanufacturing and Metrology, Vol.4, pp.53-66, 2021. https://doi.org/10.1007/s41871-020-00091-2
概要	ミリ単位で変位可能でナノ単位の分解能を持つ、インパクトドライブ機構により動作するXYZマイクロステージにおいて、Cr-N薄膜ひずみセンサを統合した閉ループ制御が約20nmの位置決め精度を達成。しかし、各軸周りの回転方向の動作誤差がやや大きく、構造解析から板バネの張力によるトルクが原因と判明。そこで機械的構造の最適化の結果、そのトルクを抑制し、回転方向の動作誤差について0.05°以下への低減に成功した。

Phase transformation from PbS to PbSe:S in hot-wall deposition of nanocomposite thin film with evaporation sources of PbS and ZnSe

掲載日	2021年2月19日
雑誌名等	SN Applied Sciences (2021) 3:212
概要	次世代の高感度赤外光検知器等に用いる半導体コンポジット薄膜では、ナノ粒子の光感度の波長を可変化することが望まれます。本件は、ナノ結晶の固溶体化をもたらす独自手法について報告しています。

Composition-graded multilayer nanogranular films enabling broadband tunneling magneto-dielectric effect: Role of the granular distribution

Yang Cao（東北大学）、Nobukiyo Kobayashi（電磁研）、Shigehiro Ohnuma（電磁研）、and Hiroshi Masumoto（東北大学）
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掲載日	2021年2月9日
雑誌名等	Appl. Phys. Lett. 118, 032901 (2021); https://doi.org/10.1063/5.0027233
概要	ナノグラニュラー膜のトンネリング磁気-誘電（TMD）効果は、新しい多機能デバイスの実現を可能にすることが期待されます。しかしながら、TMD効果の周波数特性は、原理的に特定の周波数にピークを有することを特徴とし、必然的にその有用性は狭い周波数範囲内に制限されてしまいます。本論文では、より広い周波数帯域で高いTMD効果を達成するために、Composition-Graded Multilayer（CGM）構造を採用したCo-MgF₂ナノグラニュラー膜について報告します。本研究で得られたTMD効果の挙動は理論的にも明確に裏付けることができ、CGM構造膜における粒子間隔分布がTMD効果の広帯域化の起源であることを明らかにしました。このように本研究によって、TMD特性の周波数応答の制御には粒子の分布状態が重要な役割を果たしていることが明らかとなり、この結果は、TMD効果の広帯域磁気電気デバイスへの応用を可能にします。

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