2020年10月20～23日開催のCEATEC2020オンライン（コロナ禍のため今年はオンライン開催）にジオマテック株式会社が当研究所との共同研究成果である「圧力センサ素子」を出展します。展示品は、Cr-N薄膜の特徴を活かした、高レンジ負荷に対応可能な小型高性能ひずみゲージ式ダイヤフラム型圧力センサ素子です。

写真提供：ジオマテック株式会社