高温域で安定な高ゲージ率を示すCr-Al-N薄膜ひずみセンサ
| 掲載日 | 2018年7月27日 |
| 発表者 | |
| 雑誌名等 | 電気学会論文誌 E（センサ・マイクロマシン部門誌）、138巻、7号、pp.294-300, 2018. DOI:10.1541/ieejsmas.138.294 |
| 概要 | 高温において優れた感度温度係数（TCS）特性と大きなゲージ率（Gf）を示す材料を得ることを目的として、Cr-Al-N薄膜について調べた。その結果、Alを約14％含むCr-Al-N薄膜において約450℃まで6～8のGfを示すとともに抵抗の経時変化も小さく、さらに-50℃～350℃の温度領域においてGfが約8で小さなTCSを示すことが明らかになった。その温度領域で使用可能な、従来に無い、温度変化に安定で高感度なひずみセンサとして有望であり、自動車のミッションオイル圧およびエンジン燃焼圧の計測ならびに各種発電施設や油田等での装置振動および圧力の測定など様々な分野で利用可能と考えられる。 |