ジルコニア構造体Cr-N薄膜圧力センサによる水素ガス中圧力測定
掲載日 2026年6月5日
発表者 丹羽英二,皆川直祐,水尾仙人,亀川厚則
雑誌名等 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), Vol.146, No.6, pp.153-160, 2026
概要

著者らは容器に内蔵可能な高感度・小型水素圧力センサの開発に取り組んでいる。これまでに、水素吸蔵合金で主に用いられる1MPa以下の低圧力域で高感度な、ダイアフラム型起歪構造を有する従来に無いタイプの小型圧力センサの開発に成功している。本研究では、そのようなCr-N薄膜/ジルコニア基板圧力センサ素子を用いて水素吸蔵合金を収容した圧力容器内の水素吸蔵・放出時の圧力を測定し、圧力変化挙動を安定して測定できることを確認した。水素吸蔵合金における吸蔵量計測や圧力容器内のガス漏れ検知などの応用も期待できる。

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