本研究では、人間と同等あるいはそれを超える空間分解能を持つ触覚機能を目指し、従来のMEMS触覚センサの検知素子であるカンチレバーの小型化を目的として、その平面形状の最適化の検討を行った。ひずみゲージとして横感度が利用可能な高ゲージ率のCr-N薄膜を用いた。カンチレバーの平面形状を自由端に向かって広がる台形形状とすることによって、従来の1/3以下である長さ30µm、幅25µmに小型化した場合においても、センサ感度が理論式から想定される値を上回ることを実験的に明らかにした。すなわち、十分な出力を維持したままセンサを小型化することに成功した。