水素の影響を受けないCr-N薄膜とジルコニア構造体からなり，ダイアフラム型起歪構造を有する高感度な容器内蔵型水素用圧力センサの小型化を図り，直径2mmのダイアフラムからなる4mm角で厚さ3mmの新規素子の試作に成功した。その圧力応答は直線性に優れ，約1mV/MPaの十分な感度ならびに10気圧の下64時間保持で顕著な変化のない安定性を示した。さらに素子内に温度センサも形成し，圧力容器内の温度変化を安定で精度よく同時測定可能とした。従来に無い，圧力容器や配管等に内蔵可能な温度測定機能付きの小型圧力センサとして期待できる。