Cr-NおよびFe-Pd薄膜のひずみ・温度同時計測触覚センサへの応用
掲載日 2024年9月11日
発表者 佐々木祥弘丹羽英二
雑誌名等 電気学会・論文誌E, 2024年9月号
概要

著者らは、ひずみと温度を同時に検出する触覚センサについて研究を行った。本論文では、複合触覚センサ用のひずみおよび温度センサとして、ひずみ感度が高く温度感度が低いCr-N合金薄膜および温度感度が高くひずみ感度が低いFe-Pdを用いた。その複合薄膜センサを試作してひずみ(荷重)と温度の同時印加試験を行い、さらに検出精度を向上させるための補正方法について議論を行った。作製した複合触覚センサによってひずみ(荷重)および温度の同時計測が可能であった。そして、上記特徴を持つ2つの薄膜を用いることによって、特殊な補償回路を必要とせずに、単純な計算からリアルタイムにお互いの補正が可能であることを確認した。

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