Closed-Loop Control of an XYZ Micro-Stage and Designing of Mechanical Structure for Reduction in Motion Errors
| 掲載日 | 2021年3月24日 |
| 発表者 | Hiraku Matsukuma, Keisuke Adachi, Takuma Sugawara, Yuki Shimizu, Wei Gao（東北大学）, , |
| 雑誌名等 | Namomanufacturing and Metrology, Vol.4, pp.53-66, 2021. https://doi.org/10.1007/s41871-020-00091-2 |
| 概要 | ミリ単位で変位可能でナノ単位の分解能を持つ、インパクトドライブ機構により動作するXYZマイクロステージにおいて、Cr-N薄膜ひずみセンサを統合した閉ループ制御が約20nmの位置決め精度を達成。しかし、各軸周りの回転方向の動作誤差がやや大きく、構造解析から板バネの張力によるトルクが原因と判明。そこで機械的構造の最適化の結果、そのトルクを抑制し、回転方向の動作誤差について0.05°以下への低減に成功した。 |