エアロゾルデポジション法による圧電厚膜形成技術と振動発電デバイスへの応用
| 掲載日 | 2018年11月19日 |
| 発表者 | |
| 雑誌名等 | 表面技術、第69巻、第11号、p500-p506、2018年 |
| 概要 | 「機能性厚膜形成技術の必要性と最新動向」の小特集としてAD法による厚膜形成技術と、成膜した圧電厚膜を振動発電デバイスに応用した研究成果について紹介した。AD法で成膜レートを向上させるには粉末の粒度の調製が重要であること、鉛フリーのBT膜による振動発電特性の評価では1回のスナップ振動で37μJエネルギーが発電させることが確認された。実用化されている従来のPZTを用いた振動発電デバイスの発電エネルギーは約150μJであり、さらに構造・材料を検討することで実用レベルの鉛フリーの圧電厚膜による振動発電バイスの実現が期待される。 |