ナノグラニュラー膜を用いた高感度・小型磁気センサの開発
| 掲載日 | 2018年5月30日 |
| 発表者 | 、蟹江三次 |
| 雑誌名等 | ナノグラニュラー膜を用いた高感度・小型磁気センサーの開発、技術情報協会刊、「磁性材料・部品の最新開発事例と応用技術」（2018）187-196 |
| 概要 | 本著では、このナノグラニュラー膜の機能性の一つであるTMRを用いた高感度・小型磁気センサGIGS（Granular In Gap Sensor）について解説する。GIGSはナノグラニュラー膜の高電気抵抗特性や耐熱性などの特長を生かした、超小型・省電力・耐熱性に優れた次世代磁気センサーである。ナノグラニュラー膜は、上記の機能性がすべて室温以上で発現すること、また、スパッタ法で比較的容易に作製できて再現性が良く、良好な耐熱性を有するなど、実用上の優位店を有する。 |