高圧水素ガス環境用Cr-N薄膜ひずみセンサおよび圧力センサ
| 掲載日 | 2018年5月28日 |
| 発表者 | 、三上浩（株式会社昭和測器） |
| 雑誌名等 | 電気学会論文誌 E（センサ・マイクロマシン部門誌）、138巻、5号、pp.178-184、2018. DOI:10.1541/ieejsmas.138.178 |
| 概要 | 昨今、水素エネルギー社会の実現に向けた動きが加速しつつある。そのような中、水素環境下で用いるひずみセンサが必要とされ、共和電業から販売されるに至ったが、ゲージ率は2.5と低い。そこで高感度なひずみセンサの開発を目指して、Cr-N薄膜への高圧水素ガス環境下での水素の影響を調べた。その結果、Cr-N薄膜は水素の影響を受けないこと、および起歪構造を必要としない静水圧的な圧力の検知が可能であることが確認された。高圧水素環境用のひずみセンサならびに高圧センサとして有望と考えられる。高圧センサは従来に無い新規形態の提案であり、薄膜は高感度で小型化可能な既開発品であることから、安全性、多点観測、安価等多くのメリットが期待できる。 |