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公益財団法人電磁材料研究所
〒982-0807
宮城県仙台市太白区八木山南2丁目1-1
TEL.022-245-8027
FAX.022-245-8031
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開発施設

 

デバイス開発施設

デバイス開発施設
 
デバイス試作用クリーンルーム
 デバイス開発施設は、本法人において発明された薄膜機能材料を用いた薄膜素子およびデバイスを試作、評価するための施設であり、当施設には大小3つのクリーンルームが設置されています。写真は、最も広いクラス1000のクリーンルームの内部で、薄膜を積層して3次元素子を試作するための主要設備(10台)が設置されています。その他に、素子の性能を精密測定するクリーンルームおよびウエット用クリーンルームがあります。
   
1.試作開発研究
 当施設は、本法人において発明された薄膜機能材料を用いた薄膜素子およびデバイスの試作開発研究ならびに薄膜素子およびデバイスの共同研究に係る試作を実施しています。
 
2.デバイス開発施設の主要設備
 リソグラフィー技術により、最小線幅0.5μm、基板サイズ3インチまでの薄膜素子およびデバイスの製作を行える設備として、マスクアライナーをはじめとするリソグラフィー装置、加工用のイオンビームエッチング装置、成膜用のスパッタ装置(4台)等を所有しています。また、プロセスおよび試作品の検査用としてFE走査型電子顕微鏡をはじめとする観察、計測装置を所有しています。
 

素形材開発施設

素形材開発施設
 
 素形材開発施設は、本法人で発明・開発したバルク機能性材料の高度化と用途開発を目的としております。当施設は、金属バルク材料を製造するための溶解・鍛造・圧延・線引き・各種熱処理炉などを所有し、材料性能の高度化や製造条件の検討を行ない、実用化を目指した研究を実施しております。
   
1.試作開発研究
 本法人において発明・開発された高機能性材料および独自製造法により作製された機能性材料などの実用化、新たな用途開発および性能向上に向けた試作開発研究を実施しています。
   
2.素形材開発施設の主要設備
素形材開発施設内観
 現有設備は、高周波誘導溶解炉(4基)、アーク溶解炉(2基)、エアーハンマー(2基)、冷間伸線機(6基)、熱間・冷間圧延機(6基)、スウェ-ジングハンマ-(3基)、切断機・切削機(2基)、研磨機(2基)、真空・水素雰囲気中熱処理炉(10基)などです。
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