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公益財団法人電磁材料研究所
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宮城県仙台市太白区八木山南2丁目1-1
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所有実験装置

   
 現在本法人が所有する主な試料作製関係装置、分析関係装置および物性測定関係装置は、以下の通りです。
 

試料作製関係装置

試料作製関係装置
 
 各種クリーンルーム(3室)、スパッタ成膜装置(イオンビーム・マグネトロン・対抗ターゲットなど10数台)、真空蒸着装置、ホットウォール成膜(HWD)装置、ラングミュア(LB)膜作製装置、単結晶作製装置、単ロール型液体急冷装置、ガス雰囲気中液体急冷装置、電解メッキ装置、真空アーク溶解炉、モールド鋳造装置、反応性イオンエッチング装置、マスクアライナー、電子線描画装置、ダイシングソー、回転磁場中熱処理炉、高真空熱処理炉、ガス雰囲気熱処理炉、反応性エッチング装置、高速精密切断機、超音波洗浄器、恒温室、エアロゾル・デポジション(AD)成膜装置など
 
 
AD成膜装置
AD成膜装置
 
マグネトロンスパッタ装置
マグネトロンスパッタ装置
 
ホットウォール成膜装置
ホットウォール成膜装置
 
雰囲気中液体急冷装置
雰囲気中液体急冷装置
 
回転磁場中熱処理炉
回転磁場中熱処理炉
 

分析関係装置

分析関係装置
 
 走査型プローブ顕微鏡、FE走査型電子顕微鏡(EDX,WDX付き)、表面形状測定装置、薄膜用多機能X線分折装置、蛍光X線分析装置、エネルギー分散型蛍光X線分析装置、分光感度測定装置、フーリエ変換赤外分光光度計、紫外可視近赤外分光光度計、示差走査熱量計、プローブステーションなど
 
 
薄膜用多機能X線回折装置
薄膜用多機能X線回折装置
 
分光感度測定装置
分光感度測定装置
 
FE走査型電子顕微鏡
FE走査型電子顕微鏡
 
プローブステーション
プローブステーション
 
蛍光X線分析装置
蛍光X線分析装置
 
示差走査熱量計
示差走査熱量計
 

物性測定関係装置

物性測定関係装置
 
 誘電率測定装置、試料振動型磁力計、交番力磁力計、磁気異方性・トルク測定装置、パルス磁場磁化測定装置、磁界解析装置、薄膜磁歪測定装置、マイクロカー効果測定装置、直流磁気磁束計、高周波透磁率測定装置、インピーダンスアナライザー、ネットワークアナライザー、スペクトラムアナライザー、多用途偏光解析装置、光電気伝導測定装置、電気抵抗・歪測定装置、表面形状測定装置、膜厚計、磁気抵抗効果測定装置、内部摩擦測定装置、万能機械試験機、ビッカース硬度計、ロックウェル硬度計、微小硬度計、ヤング率測定装置(共振法)、熱膨張率測定装置、ファラデー効果測定装置など
 
 
ファラデー効果測定装置
ファラデー効果測定装置
 
極低温磁気抵抗効果測定装置
極低温磁気抵抗効果測定装置
 
試料振動型磁力計
試料振動型磁力計
 
誘電率測定装置
誘電率測定装置
 
高周波透磁率測定装置
高周波透磁率測定装置
 
マイクロカー効果測定装置
マイクロカー効果測定装置
 
表面形状測定装置
表面形状測定装置
 
熱膨張率測定装置
熱膨張率測定装置
 
ヤング率測定装置
ヤング率測定装置
<<公益財団法人電磁材料研究所>> 〒982-0807 宮城県仙台市太白区八木山南2丁目1-1 TEL:022-245-8027 FAX:022-245-8031