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研究論文(最新)2019年7月19日更新

研究論文(最新)2019年7月19日更新
 

金属基材薄膜センサ素子用塗布型粘土絶縁膜
丹羽英二、林晋也・須貝一郎・野口幸紀(イチネンケミカルズ)、飯島高志・棚池修・蛯名武雄(産総研)
電気学会論文誌 E(センサ・マイクロマシン部門誌)Vol.139, No.7, pp.201-208, 2019, https://doi.org/10.1541/ieejsmas.139.201
金属基材上に薄膜センサを形成する場合、絶縁層が必要となる。本論文では、耐熱性、密着性、ガスバリア性ならびに基材追従性に優れた金属用新規無機系塗布型粘土絶縁膜の開発を行い、その表面平坦化機能および良好な絶縁性を確認するとともに、金属基材上にその絶縁膜を用いた高感度Cr-N薄膜ひずみセンサを試作し、安定なひずみ計測が可能であることを明らかにした。本粘土絶縁膜は、簡便に形成できる低価格な絶縁膜として極めて有望であると考えられる。
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