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研究論文(最新)2019年8月26日更新

研究論文(最新)2019年8月26日更新
 

窒化物をマトリックスとしたナノグラニュラー薄膜の磁気光学効果
池田賢司小林伸聖荒井賢一
電気学会マグネティックス研究会資料、MAG-19-089、pp.63-68
高屈折率を有するナノグラニュラー薄膜の作製を目的として、半導体プロセスとの親和性が高く、高屈折率材料であるSiNをマトリックスとしたナノグラニュラー薄膜を作製し、その磁気光学特性を解析した結果、大きいファラデー回転角と共に高い屈折率が得られた。
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