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研究論文リスト和文

 

研究論文(最新)2018年7月27日更新

研究論文(最新)2018年7月27日更新
 

高温域で安定な高ゲージ率を示すCr-Al-N薄膜ひずみセンサ
丹羽英二
電気学会論文誌 E(センサ・マイクロマシン部門誌)、138巻、7号、PP.294-300、2018. DOI:10.1541/ieejsmas.138.294
高温において優れた感度温度係数(TCS)特性と大きなゲージ率(Gf)を示す材料を得ることを目的として、Cr-Al-N薄膜について調べた。その結果、Alを約14%含むCr-Al-N薄膜において約450℃まで6~8のGfを示すとともに抵抗の経時変化も小さく、さらに-50℃~350℃の温度領域においてGfが約8で小さなTCSを示すことが明らかになった。その温度領域で使用可能な、従来に無い、温度変化に安定で高感度なひずみセンサとして有望であり、自動車のミッションオイル圧およびエンジン燃焼圧の計測ならびに各種発電施設や油田等での装置振動および圧力の測定など様々な分野で利用可能と考えられる。
 

ナノグラニュラー膜を用いた高感度・小型磁気センサの開発
小林伸聖、蟹江三次
ナノグラニュラー膜を用いた高感度・小型磁気センサーの開発、技術情報協会刊、「磁性材料・部品の最新開発事例と応用技術」(2018)187-196
本著では、このナノグラニュラー膜の機能性の一つであるTMRを用いた高感度・小型磁気センサGIGS®(Granular In Gap Sensor)について解説する。GIGS®はナノグラニュラー膜の高電気抵抗特性や耐熱性などの特長を生かした、超小型・省電力・耐熱性に優れた次世代磁気センサーである。ナノグラニュラー膜は、上記の機能性がすべて室温以上で発現すること、また、スパッタ法で比較的容易に作製できて再現性が良く、良好な耐熱性を有するなど、実用上の優位店を有する。
 

ナノグラニュラー膜を用いた高感度・小型磁気センサGIGS®
小林伸聖
シーエムシー出版刊、「自動運転車・ミラーレス車用カメラ・センサの技術と市場」(2018) 35-44
GIGS®(Granular-in-Gap-Sensor、グラニュラー・イン・ギャップ・センサ)は、金属-絶縁体ナノグラニュラー膜を用いた新しい磁気センサである。特長は、高感度であると同時に、超小型かつ省電力特性に優れている。さらに、用いている金属-絶縁体ナノグラニュラー膜は、作製が容易で再現性も良く、良好な温度安定性および耐熱性を有するなど、多くの実用的な優位性を有する。本稿では、自動運転などの新技術開発において求められる、新しい磁気センサを提案する。
 

高圧水素ガス環境用Cr-N薄膜ひずみセンサおよび圧力センサ
丹羽英二、三上浩(株式会社昭和測器)
電気学会論文誌 E(センサ・マイクロマシン部門誌)、138巻、5号、PP.178-184、2018. DOI:10.1541/ieejsmas.138.178
昨今、水素エネルギー社会の実現に向けた動きが加速しつつある。そのような中、水素環境下で用いるひずみセンサが必要とされ、共和電業から販売されるに至ったが、ゲージ率は2.5と低い。そこで高感度なひずみセンサの開発を目指して、Cr-N薄膜への高圧水素ガス環境下での水素の影響を調べた。その結果、Cr-N薄膜は水素の影響を受けないこと、および起歪構造を必要としない静水圧的な圧力の検知が可能であることが確認された。高圧水素環境用のひずみセンサならびに高圧センサとして有望と考えられる。高圧センサは従来に無い新規形態の提案であり、薄膜は高感度で小型化可能な既開発品であることから、安全性、多点観測、安価等多くのメリットが期待できる。
 

組織により10GHzを超える共鳴周波数を呈するナノグラニュラー強磁性膜
直江正幸
ナノグラニュラー膜は、組織及び作製手法を変えることにより異方性磁界Hkと比抵抗を高めることが可能である。本論文は、Hkを高めることにより、ナノグラニュラー膜の磁性損失が最大となる強磁性共鳴周波数Frをどこまで向上させることができるかを、膜組成を種々変えることにより検討し、Frを10GHz以上とすることに成功したことを報告する。
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