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公益財団法人電磁材料研究所
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2017年
 

展示会(平成29年10月)

展示会(平成29年10月)
 
第37回 エレクトロセラミックス研究討論会(日本セラミック協会)
タイトル AD法で形成したBaTiO3厚膜の圧電特性に与えるドメイン構造の影響
日時 2017年10月12日(木)
場所 ユニオンビル(富士通労働会館)(神奈川県川崎市中原区)
出展者名 川上祥広(デバイス高機能材料開発部門)
渡邊雅人(新機能材料創生部門)
荒井賢一(電磁研理事長)
杉本諭(東北大学)
発表概要AD法で形成したBaTiO3(BT)膜の圧電特性は成膜する基板によって圧電特性が異なることが確認されている。
その原因を調査する目的でXRDによるBT膜内のドメイン構造の解析を行った。その結果、基板材質の違いにより膜厚方向と自発分極方向が平行なc-ドメインと、垂直なa-ドメインの存在比が異なり、電場を印加することでa-ドメインがc-ドメインへ分極反転する比率が基板材質によって異なることが明らかになった。
バルクでは膜と異なり基板拘束によるドメイン反転が抑制されていることが確認された。
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