番号(日付) | 名称 | 発明者 |
整理番号 542 特願2003-151524(H15/05/28) 特開2004-354181(H16/12/16) 特許第4334914号 | 薄膜磁気センサ | 小林 伸聖 白川 究 |
共同出願人 | 大同特殊鋼株式会社 | 金田 安司 |
特許権者 | 電磁材料研究所、大同特殊鋼株式会社 | |
【課題】巨大磁気抵抗効果を有するGMR膜の両側に軟磁性材料からなる薄膜ヨークを配置した薄膜磁気センサにおいて、GMR膜の磁界感度をさらに向上させること。 | ||
【解決手段】本発明は、軟磁性材料からなり、かつギャップ24aを介して対向させた一対の薄膜ヨーク24、24と、薄膜ヨーク24、24と電気的に接続されるようにギャップ24a間に形成されたGMR膜26とを備えた薄膜磁気センサ20であって、GL/tf比が20以下、Sf/Sr比が1以下、(Wm×tm/L2)比が0.01以下、FL/GL比が20以下、θが40°以上90°以下、及び/又はWg/Wfが1以下であることを特徴とする。また、薄膜ヨーク24、24の先端部分は、後端部分より飽和磁化の大きい軟磁性材料からなっていても良い。 |
番号(日付) | 名称 | 発明者 |
整理番号 543 特願2004-072408(H16/03/15) 特開2005-257605(H17/09/22) 特許第4285695号 | 薄膜磁気センサ及び回転センサ | 小林 伸聖 白川 究 |
共同出願人 | 大同特殊鋼株式会社 | 金田 安司 |
特許権者 | 電磁材料研究所、大同特殊鋼株式会社 | |
【課題】外部磁界の回転角度に応じた薄膜磁気センサの出力が、三角波状もしくは正弦波・余弦波状出力となる薄膜磁気センサ及びこれを用いた回転センサを提供すること。 | ||
【解決手段】 本発明に係る薄膜磁気センサ20は、軟磁性材料からなり、かつギャップ24aを介して対向させた一対の薄膜ヨーク24、24と、一対の薄膜ヨーク24、24と電気的に接続されるようにギャップ24a間に形成された、軟磁性材料より高い電気比抵抗を有するGMR膜26と、薄膜ヨーク24、24及びGMR膜26を支持する絶縁性・非磁性材料からなる絶縁基板とを備え、薄膜ヨーク24、24は、ギャップ長方向の異方性磁界Hk(x)と、ギャップ長に対して垂直方向の異方性磁界Hk(y)との間に、Hk(x)≧Hk(y)で表される関係があることを特徴とする。 |
番号(日付) | 名称 | 発明者 |
整理番号 544 特願2003-151525(H15/05/28) 特開2004-354182(H16/12/16) 特許第4323220号 | 薄膜磁気センサ及びその製造方法 | 小林 伸聖 白川 究 |
共同出願人 | 大同特殊鋼株式会社 | 金田 安司 |
特許権者 | 電磁材料研究所、大同特殊鋼株式会社 | |
【課題】絶縁基板の表面に対して垂直方向の外部磁界を検出可能な薄膜磁気センサ及びその製造方法を提供すること。 | ||
【解決手段】本発明に係る薄膜磁気センサ41は、軟磁性材料からなり、かつギャップ44cを介して対向させた一対の薄膜ヨーク(A、B)44a、44bと、一対の薄膜ヨーク(A、B)44a、44bと電気的に接続されるようにギャップ44c間に形成された、軟磁性材料より高い電気比抵抗を有するGMR膜46と、これらを支持する絶縁基板42とを備え、絶縁基板42は、その表面に凹部42aを有し、薄膜ヨーク(A、B)44a、44bは、その感磁軸が絶縁基板42の表面に対して平行にならないように、凹部42aの側面に形成されていることを特徴とする。 |