高い熱安定性を有するCr-Al、Cr-Al-B薄膜歪センサ
| 掲載日 | 2020年1月29日 |
| 発表者 | 、 |
| 雑誌名等 | 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）Vol.139,No8,pp265-270,2019,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.139.265 |
| 概要 | 薄膜ストレンゲージ材の熱安定性について検討を行った。その結果、Cr-Al、Cr-B二元薄膜合金が高温で高い熱安定性を示すことが明らかになった。更に、Cr-Alに3～5at.%Bを添加することにより、以下に述べる優れた特性を有する新しいストレンゲージ薄膜材料の実現にも成功した。この三元薄膜合金は、高い熱安定性を有すると同時にゲージ率の温度係数TCSと抵抗の温度係数TCRが同じ組成で零を示す。また、これらの特性は、起歪体（測定対象物）の材質によらない可能性がある。 |