AD法で作成した圧電膜等について
掲載日 2018年5月25日
発表者 川上祥広
場所 産業技術総合研究所(宮城県仙台市泉区)
概要 2018年4月13日(金)産業技術総合研究所において講演を行った。
圧電セラミックスは電気的・機械的エネルギーを変換する機能性材料として今後の社会インフラであるIoTや、センサネットワークなどで使用されるデバイスなどへの応用が期待されている。エアロゾルデポジション(AD)法は、常温で緻密なセラミック厚膜を形成できるユニークなコーティング技術であり、このAD法により鉛系、非鉛系圧電セラミックス厚膜をステンレス基板上に形成する技術と、その組成・微細組成と圧電特性の関係について、また圧電厚膜を振動発電デバイスに適用した事例について産業技術総合研究所先進コーティング技術センター職員を対象に講演した。