Size optimization for complex permeability measurement of magnetic thin films using a short-circuited microstrip line up to 30 GHz
掲載日 2018年1月31日
発表者 Shigeru Takeda, Masayuki Naoe.
雑誌名等 Journal of Magnetism and Magnetic Materials, Vol. 449, pp. 530–537 (2018), doi: 10.1016/j.jmmm.2017.10.025
概要 多くの高周波透磁率計測装置は、正しく計測できる上限周波数が10 GHz程度に留まっている。一方、電磁研の開発している高周波ナノグラニュラー磁性薄膜は、透磁率の示す共鳴ピークが10 GHzを超えてきており、既存の装置では正しい評価ができなかった。本論文は、高周波透磁率計測の一手法である短絡マイクロストリップライン法において、治具および試料の寸法を最適化することで、どこまで上限を伸ばせるかを企業との共同研究で挑戦した成果であり、30 GHzを目標として20 GHzまで達成したものを報告している。