クリーンルーム、スパッタ成膜装置（イオンビ−ム・マグネトロン・対向ターゲット）、
真空蒸着装置、ホットウォールエピタクシィ、ラングミュア（LB）膜作製装置、単結晶作製装置、
ガス雰囲気中液体急冷装置、電解メッキ装置、真空ア−ク溶解炉、モールド鋳造装置、
イオンビームエッチング装置、反応性イオンエッチング装置、マスクアライナ−、
電子線描画装置、ダイシングソー、回転磁場中熱処理炉、高真空熱処理炉、
ガス雰囲気熱処理炉、反応性エッチング装置、高速精密切断機、超音波洗浄器、恒温室

X線回折装置（薄膜用、バルク用、極点図形用）、蛍光X線分析装置、
エネルギ−分散型X線分析装置、波長分散型X線分析装置、分光感度測定装置、
フ−リエ変換赤外分光光度計、示差走査熱量計、紫外可視近赤外分光光度計

走査型プロ−ブ顕微鏡、ＦＥ走査型電子顕微鏡(EDS/WDSコンバイン型分析システム)、
原子間力顕微鏡、表面形状測定装置、誘電率測定装置、試料振動型磁力計、交番力磁力計、磁気異方性・トルク測定装置、パルス磁場磁化測定装置、磁界解析装置、薄膜磁歪測定装置、
マイクロカー効果測定装置、直流磁気磁束計、高周波透磁率測定装置、
インピ−ダンスアナライザ−、ネットワ−クアナライザー、スペクトラムアナライザ−、
多用途偏光解析装置、光電気伝導測定装置、電気抵抗・歪測定装置、表面粗さ計、膜厚計、
磁気抵抗効果測定装置、極低温磁気抵抗効果測定装置、内部摩擦測定装置、熱機械試験機、
弾性率測定装置、熱膨張計、万能機械試験機、ビッカ−ス硬度計、ロックウェル硬度計、
微小硬度計