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平成23年(2011年)度
番号(日付)
名称
発明者
整理番号 272
特願 2011-24384 (H23/02/07)
特開 2011-117971(H23/06/16)
感温感歪複合センサ(No.242の分割出願)
丹羽英二
金子秀夫
増本剛
導電性基盤上に絶縁性膜を形成し、さらに当該絶縁性膜上に又は絶縁性基盤上に温度センサ材料及び歪センサ材料を成膜してなり、歪による温度測定誤差が0.5K以内で、かつ温度による歪量測定誤差百分率が50%以内の精度で温度及び歪を同時に検出する。
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